El Instituto de Física del Estado Sólido de la Universidad de Letonia (ISSP UL) es un líder reconocido internacionalmente en las ciencias de los materiales y temas interdisciplinarios en los Estados bálticos. En 2012 construyeron su propia sala limpia que alberga herramientas de limpieza, preparación de superficies, haz de electrones, fotolitografía, deposición de películas delgadas y grabado en seco y húmedo. Y ahora también están utilizando la solución Aranet IoT para monitorear el entorno de su sala limpia para garantizar que se mantengan las diferencias de presión, que la temperatura sea estable y que el microclima sea apropiado tanto para las personas como para los equipos.
Una sala limpia es una sala en la que se controla la concentración de partículas en el aire y que se construye y utiliza de manera que se minimice la introducción, generación y retención de partículas dentro de la sala. Están diseñados para mantener niveles extremadamente bajos de partículas, como polvo, organismos en el aire o partículas vaporizadas. Esto también se controla mediante otros parámetros como temperatura, humedad relativa, vibración, presión, etc. En el caso de la sala limpia ISSP UL, los parámetros importantes son la temperatura, la humedad relativa y la presión diferencial.
Todo el sistema utilizado por el instituto contiene:
- Estación base Aranet PRO 100
- Varios sensores Aranet T / RH
- Varios sensores Aranet T-probe
- Pocos sensores Aranet CO 2
- Varios sensores de presión diferencial Aranet
Dentro de las salas blancas, debe mantener una presión positiva en relación con el entorno exterior para evitar la contaminación. ISSP UL solía tener un problema: solo podían ver la diferencia de presión en una pantalla dentro de la sala limpia. Alguien siempre tenía que comprobarlo manualmente en una pantalla local. Ahora con el sensor de presión diferencial Aranet pueden hacerlo de forma remota. Pueden reaccionar a los problemas más rápidamente: si ven que la presión diferencial está disminuyendo, saben que la ventilación se ha detenido o que ha sucedido algo más.
“El lunes pasado tuvimos un problema en el que el controlador de ventilación se apagaba a las 5 de la mañana. La temperatura comenzó a subir solo después de 2 horas, pero vimos el problema de la presión diferencial de inmediato para poder reaccionar ”, dice Valdis Korsaks, gerente de sala limpia del instituto, que también está a cargo de este proyecto.
El equipo que trabaja en el laboratorio también se alegró de encontrar otro uso para el sensor de presión diferencial: el control de las campanas de extracción y otros lugares de extracción de aire. Una campana extractora (a veces denominada vitrina de gases o armario de gases) es un tipo de dispositivo de ventilación local que está diseñado para limitar la exposición a humos, vapores o polvos peligrosos o tóxicos. Es importante monitorear si esta extracción de aire está funcionando y si no, Aranet envía un mensaje de alarma informando que la ventilación se ha detenido. Esto realmente ayuda a garantizar que las personas que trabajan allí estén seguras y no pongan en peligro su salud.
El CO 2 se mide principalmente para controlar el bienestar de las personas que trabajan dentro de la sala limpia. El instituto compró los sensores de CO 2 por motivos de preocupación por el bienestar de sus investigadores. Sabían que la exposición prolongada a niveles elevados de CO 2 puede ser perjudicial para las capacidades cognitivas y otros aspectos de la salud y los entornos típicamente aislados como las salas blancas pueden tener una acumulación excesiva de CO 2 . Les complació saber que el intercambio de aire funciona correctamente y que los niveles de CO 2 no superan las normas.
También es importante controlar la temperatura para asegurarse de que su equipo pueda funcionar correctamente. La microscopía electrónica y la litografía son muy sensibles a los cambios de temperatura y, si se alteran, pueden generar grandes costos de servicio y una valiosa pérdida de tiempo de investigación. Tener sensores Aranet para el monitoreo de temperatura les ayuda a reaccionar a tiempo a los cambios y a resolverlos antes de que generen problemas. Para la litografía, la humedad relativa también es muy importante. Si no hay suficiente humedad en la habitación, el proceso no puede ocurrir; es muy útil que el sensor Aranet T / RH mida ambos parámetros.
“Antes de Aranet teníamos control pero no teníamos monitoreo, lo que significa que podíamos establecer los parámetros y puntos de ajuste para la ventilación. No sabíamos lo que pasaba, la litografía se desestabilizó y no sabíamos por qué, así que empezamos a buscar soluciones ”, recuerda Valdis. “ Ahora la situación ha mejorado enormemente; antes de instalar Aranet, podíamos asegurar que nuestra sala blanca tenía una estabilidad de temperatura de ± 2 grados. Con la ayuda de los sensores Aranet podemos asegurarnos de que la temperatura no varíe más de ± 0,2 grados.Definitivamente recomendaría Aranet a otras salas blancas y laboratorios porque es un sistema inalámbrico simple y fácil de usar con una excelente relación precio / rendimiento. Puede colocar el sensor en cualquier lugar, cerca de cualquier dispositivo que desee medir, y la función de alarma le ayuda a evitar problemas muy costosos. «
Simplemente demuestra que solo puede mejorar lo que puede medir. Aranet ofrece estas medidas de la manera más sencilla y fácil de usar.
Fuente: https://aranet.com/case-study-wireless-monitoring-in-cleanrooms/